Tổ sư Thiệt Diệu – Liễu Quán sinh năm 1667 tại làng Bạch Mã, huyện Ðồng Xuân, tỉnh Phú Yên, xuất gia tại chùa Hội Tôn, sau đó tầm sư học đạo tại Thuận Hóa-Phú Xuân-Huế, đắc pháp với Tổ sư Minh Hoằng Tử Dung (khai sơn chùa Ấn Tôn-Từ Đàm).
Theo sách Đại Nam nhất thống chí của Quốc sử quán triều Nguyễn, mục Chùa quán, Tổ là người khai sơn Tổ đình Thiền Tôn và các chùa Viên Thông, Viên Giác-Huế và là người khai mở chi phái thiền Thiên Thai Thiền Tôn, tức chi phái Liễu Quán thuộc phái thiền Lâm Tế chánh tông với bài kệ: “Thật Tế Ðại Ðạo, Tánh Hải Thanh Trừng, Tâm Nguyên Quảng Nhuận, Đức Bổn Từ Phong v.v…” làm pháp hệ truyền thừa cho Phật giáo xứ Đàng Trong và đến nay hầu hết các chùa ở vùng Trung và Nam Việt Nam đều thuộc phái thiền Lâm Tế này. Tổ Liễu Quán viên tịch ngày 22-11-Nhâm Tuất (1742), tính đến nay vừa tròn 265 năm.
Trước đó, chư tôn đức Tăng Ni và Phật tử cũng đã vân tập về núi Thiên Thai-Huế, nơi tôn trí bảo tháp của Tổ sư Thiệt Diệu – Liễu Quán làm lễ “tảo tháp” và dâng hương tưởng niệm
